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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <BB00267046>
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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <BB00267046>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 その他 都市環境：環境応化 010784109 /431.8/KI41S 学部管理 0件
0002 本館 本館：B2中央_和図書 013142628 /431.8/KI41S 0件
0003 日野館 日野：一般書架 101177053 /431.86/KI41 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 その他
配置場所 都市環境：環境応化
資料ID 010784109
請求記号 /431.8/KI41S
状態 学部管理
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：B2中央_和図書
資料ID 013142628
請求記号 /431.8/KI41S
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0003
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 101177053
請求記号 /431.86/KI41
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 東京大学出版会 , 1984.3
形態事項 ix, 231p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4130610473
注記 各章末: 参考文献
注記 一般的参考書: p226
学情ID BN00164488
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 金原, 粲(1933-)||キンバラ, アキラ <AU00352103>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
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