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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00957839>
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00957839>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：３Ｆ一般書架 008586615 /549.7/O48h/2003 0件
0002 日野館 日野：一般書架 102001302 /549.7/O 貸出中 2024/5/21 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ一般書架
資料ID 008586615
請求記号 /549.7/O48h/2003
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 102001302
請求記号 /549.7/O
状態 貸出中
返却予定日 2024/5/21
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2003.6
形態事項 305p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312245
書誌構造リンク ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <BB00769075> 29//a
学情ID BA62674459
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00394840>
著者標目リンク 鈴木, 章義||スズキ, アキヨシ <AU00394841>
著者標目リンク 上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU00300033>
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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