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Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

(南大沢:本館). -- Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-. -- American Institute of Physics, 1991. <SB00063184>
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Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

(南大沢:本館). -- Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-. -- American Institute of Physics, 1991. <SB00063184>
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No. 所蔵館 配置場所 配置場所2 請求記号 巻号 年月次 備考
0001 本館 本館：B1北_洋雑誌 P/534/V13b 9-22 1991-2004
No. 0001
所蔵館 本館
配置場所 本館：B1北_洋雑誌
配置場所2
請求記号 P/534/V13b
巻号 9-22
年月次 1991-2004
備考
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書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
版事項 (南大沢:本館)
巻次・年月次 Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics , 1991-
形態事項 v. : ill. ; 29 cm
その他の標題 表紙タイトル:Journal of vacuum science and technology. B, 2nd series. Nanotechnology & microelectronics: mateials, processing, mesurement, & phenomena
その他の標題 背表紙タイトル:JVSTB, Nanotechnology & microelectronics
学情ID AA10804928
本文言語コード 英語
刊行頻度コード 隔月刊
ISSN 21662746
書誌変遷リンク 継続前誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society <SB00013050>
XISSN 0734211X
XISSN 10711023
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