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書誌詳細

(南大沢:本館). -- Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990). -- American Institute of Physics, 1983. <SB00013050>

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(南大沢:本館). -- Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990). -- American Institute of Physics, 1983. <SB00013050>

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巻号をクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No.	所蔵館	配置場所	配置場所2	請求記号	巻号	年月次	備考
0001	本館	本館：B1北_洋雑誌		P/534/V13b	4-8	1986-1990

標題および責任表示	Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
版事項	(南大沢:本館)
巻次・年月次	Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990)
出版・頒布事項	New York : American Institute of Physics , 1983-1990
形態事項	8 v. : ill. ; 29 cm
その他の標題	略タイトル(雑誌書誌レコード):J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom
その他の標題	キータイトル(雑誌書誌レコード):Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
その他の標題	異なりアクセスタイトル:Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena
その他の標題	異なりアクセスタイトル:Microelectronics processing and phenomena
注記	Title from cover
注記	Issued also on microfilm
学情ID	AA10635106
本文言語コード	英語
刊行頻度コード	隔月刊
ISSN	0734211X
書誌変遷リンク	継続前誌 :Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society <SB00063182>
書誌変遷リンク	継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena <SB00063184>