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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB00900690>
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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB00900690>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：３Ｆ一般書架 10000096124 /549/Ko12s 0件
0002 日野館 日野：一般図書 101534881 /549/KO 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ一般書架
資料ID 10000096124
請求記号 /549/Ko12s
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般図書
資料ID 101534881
請求記号 /549/KO
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 スパッタ薄膜 : 基礎と応用 / 小林春洋著
スパッタ ハクマク : キソ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.2
形態事項 v, 172, viip ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526032735
学情ID BN08694157
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 春洋(1925-)||コバヤシ, ハルヒロ <AU00456173>
分類標目 電子工学 NDC8:549
件名標目等 薄膜||ハクマク
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