東京都立大学図書館
図書館HP | ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス マイライブラリ ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • タグ履歴
    • 複写依頼
    • 貸借依頼
    • 新規購入依頼

東京都立大学図書館

検索結果一覧へ戻る

半導体ドライエッチング技術

徳山巍編著. -- 産業図書, 1992. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00980725>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

半導体ドライエッチング技術

徳山巍編著. -- 産業図書, 1992. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00980725>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：B2北_和図書 013142636 /549/TO45H 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：B2北_和図書
資料ID 013142636
請求記号 /549/TO45H
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著
ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1992.10
形態事項 xiii, 394p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 9784782856284
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB00835357>//a
注記 監修: 菅野卓雄
学情ID BN08137616
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 徳山, 巍(1929-)||トクヤマ, タカシ <AU00592002>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    この書誌のQRコード