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短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工

上野巧[ほか]著 ; 有機エレクトロニクス材料研究会編. -- ぶんしん出版, 1988. -- (有機エレクトロニクス材料シリーズ ; 1). <BB00575769>
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短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工

上野巧[ほか]著 ; 有機エレクトロニクス材料研究会編. -- ぶんしん出版, 1988. -- (有機エレクトロニクス材料シリーズ ; 1). <BB00575769>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：３Ｆ一般書架 015402228 /549/00009/1 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ一般書架
資料ID 015402228
請求記号 /549/00009/1
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工 / 上野巧[ほか]著 ; 有機エレクトロニクス材料研究会編
タンハチョウ フォト レジスト ザイリョウ : ULSI ニ ムケタ ビサイ カコウ
出版・頒布事項 東京 : ぶんしん出版 , 1988.12
形態事項 230p ; 18cm
巻号情報
ISBN 4893900013
書誌構造リンク 有機エレクトロニクス材料シリーズ||ユウキ エレクトロニクス ザイリョウ シリーズ <BB00307742> 1//a
学情ID BN05493589
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU00300033>
著者標目リンク 有機エレクトロニクス材料研究会||ユウキ エレクトロニクス ザイリョウ ケンキュウカイ <AU00149544> 編
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