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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <BB00924318>
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中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <BB00924318>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般図書 101835072 /549.7/N 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般図書
資料ID 101835072
請求記号 /549.7/N
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著
ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
出版・頒布事項 東京 : 東京電機大学出版局 , 1989.3
形態事項 vi, 240p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4501313307
学情ID BN03301767
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 中野, 朝安(1923-)||ナカノ, トモヤス <AU00455071>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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