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スパッタ技術

和佐清孝, 早川茂著. -- 共立出版, 1988. <BB00267076>
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スパッタ技術

和佐清孝, 早川茂著. -- 共立出版, 1988. <BB00267076>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：３Ｆ一般書架 002232355 /431.8/W41S 0件
0002 本館 本館：B2中央_和図書 012527340 /431.8/W41S 0件
0003 日野館 日野：一般書架 101177079 /431.89/W41 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ一般書架
資料ID 002232355
請求記号 /431.8/W41S
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：B2中央_和図書
資料ID 012527340
請求記号 /431.8/W41S
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0003
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 101177079
請求記号 /431.89/W41
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著
スパッタ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 1988.6
形態事項 v, 227p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4320084772
注記 文献: 各章末
学情ID BN02297664
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 和佐, 清孝||ワサ, キヨタカ <AU00581969>
著者標目リンク 早川, 茂||ハヤカワ, シゲル <AU00352991>
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.86
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 NDC7:431.89
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 薄膜||ハクマク
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