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微細加工とレジスト
野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BB00980163>
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微細加工とレジスト
野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BB00980163>
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巻号
所蔵館
配置場所
資料ID
請求記号
状態
返却予定日
予約
WEB書棚
0001
本館
本館:3F一般書架
002224684
/578/Ko14ks/3
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
本館
配置場所
本館:3F一般書架
資料ID
002224684
請求記号
/578/Ko14ks/3
状態
返却予定日
予約
0件
WEB書棚
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書誌詳細
標題および責任表示
微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
出版・頒布事項
東京 : 共立出版 , 1987.11
形態事項
iv, 99p ; 19cm
巻号情報
ISBN
4320042271
書誌構造リンク
高分子新素材one point / 高分子学会編||コウブンシ シンソザイ one point <BB00961853> 3//b
学情ID
BN01734322
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
野々垣, 三郎||ノノガキ, サブロウ <AU00592117>
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
NDC7:549.8
件名標目等
集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等
集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等
電子光学||デンシコウガク
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