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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 日刊工業新聞社, 1987. <BB00958988>
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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 日刊工業新聞社, 1987. <BB00958988>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：３Ｆ辞書・辞典 002165945 /549/N77H 禁帯出 0件
0002 日野館 日野：参考図書 101968709 R/549.8/H 禁帯出 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ辞書・辞典
資料ID 002165945
請求記号 /549/N77H
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：参考図書
資料ID 101968709
請求記号 R/549.8/H
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1987.11
形態事項 440p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526022756
学情ID BN01615028
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 日本半導体製造装置協会||ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ <AU00524860>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND2
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体-用語||ハンドウタイーヨウゴ
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