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SOI構造形成技術

古川静二郎編著. -- 産業図書, 1987. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00183351>
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古川静二郎編著. -- 産業図書, 1987. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00183351>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：３Ｆ一般書架 10000307083 /549.7/F93s 0件
0002 日野館 日野：一般書架 201200375 /549.7/F 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ一般書架
資料ID 10000307083
請求記号 /549.7/F93s
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 201200375
請求記号 /549.7/F
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 SOI構造形成技術 / 古川静二郎編著
SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1987.10
形態事項 281p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856253
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB00835357>//a
学情ID BN01517109
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎(1934-)||フルカワ, セイジロウ <AU00527511>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 シリコン(半導体)||シリコン(ハンドウタイ)
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