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VLSIの薄膜技術

伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著. -- 丸善, 1986. -- (電子材料シリーズ). <BB00833277>
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VLSIの薄膜技術

伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著. -- 丸善, 1986. -- (電子材料シリーズ). <BB00833277>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：３Ｆ一般書架 002238650 /549/I89V 0件
0002 本館 本館：B2北_和図書 011064153 /549/D59M 0件
0003 日野館 日野：一般書架 101854214 /549.7/I 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ一般書架
資料ID 002238650
請求記号 /549/I89V
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：B2北_和図書
資料ID 011064153
請求記号 /549/D59M
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0003
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 101854214
請求記号 /549.7/I
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
VLSI ノ ハクマク ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1986.9
形態事項 xii, 250p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4621031120
書誌構造リンク 電子材料シリーズ||デンシ ザイリョウ シリーズ <BB00833276>//a
注記 各章末:文献
学情ID BN00435789
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 伊藤, 隆司||イトウ, タカシ <AU00555088>
著者標目リンク 石川, 元||イシカワ, ハジメ <AU00555089>
著者標目リンク 中村, 宏昭||ナカムラ, ヒロアキ <AU00555090>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 薄膜||ハクマク
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