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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2019. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 686 . 新材料・新素材シリーズ). <BB02363245>
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2019. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 686 . 新材料・新素材シリーズ). <BB02363245>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架 20001976373 /549.7/Ma 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 20001976373
請求記号 /549.7/Ma
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS NEMS センサ CMOSLSI ノ ユウゴウ
版事項 普及版
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2019.4
形態事項 ix, 279p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784781313641
書誌構造リンク CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB00773226> 686 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ//aa
その他の標題 標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
その他の標題 異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : メムス ネムス センサ シーモス エルエスアイ ノ ユウゴウ
注記 2012年刊の普及版
注記 文献: 各章末(第31章, 第32章には無し)
学情ID BB28002091
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 益, 一哉||マス, カズヤ <AU00800622>
著者標目リンク 年吉, 洋||トシヨシ, ヒロシ <AU00696759>
著者標目リンク 町田, 克之
マチダ, カツユキ <>
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