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MEMSデバイス徹底入門 : 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ

三田吉郎著. -- 日刊工業新聞社, 2018. <BB02353141>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野:一般書架 20001962000 /530/Mi 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野:一般書架
資料ID 20001962000
請求記号 /530/Mi
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 MEMSデバイス徹底入門 : 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ / 三田吉郎著
MEMS デバイス テッテイ ニュウモン : 「ツカウ」 「ワカル」 「ツクル」 マイクロマシン・センサ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2018.8
形態事項 vi, 188p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784526078712
その他の標題 標題紙タイトル:Introduction to MEMS devices
注記 "現実世界と情報世界を仲立ちする、情報処理回路の入出力の要「MEMSデバイス」。MEMSはどう使え、どう動き、どう作るのか、関連するスキルと知識を、豊富な実験例と平易な文章で解説する。"--TRC MARCによる
学情ID BB26747228
本文言語コード 日本語
著者標目リンク *三田, 吉郎||ミタ, ヨシオ <AU00796824> 著
分類標目 機械工学.原子力工学 NDC8:530
分類標目 機械工学 NDC9:530
分類標目 機械工学 NDC10:530
件名標目等 マイクロマシン||マイクロマシン