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これからのMEMS : LSIとの融合

江刺正喜, 小野崇人共著. -- 森北出版, 2016. <BB02288682>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架 20001899188 /530/E 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 20001899188
請求記号 /530/E
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 これからのMEMS : LSIとの融合 / 江刺正喜, 小野崇人共著
コレカラ ノ MEMS : LSI トノ ユウゴウ
出版・頒布事項 東京 : 森北出版 , 2016.6
形態事項 v, 151p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 9784627775510
その他の標題 異なりアクセスタイトル:これからのMEMS : micro electro mechanical systems : LSIとの融合
コレカラ ノ MEMS : micro electro mechanical systems : LSI トノ ユウゴウ
注記 タイトルは奥付による
注記 参考文献: p136-147
学情ID BB21515702
本文言語コード 日本語
著者標目リンク *江刺, 正喜(1949-)||エサシ, マサヨシ <AU00142064>
著者標目リンク 小野, 崇人||オノ, タカヒト(1967-) <AU00776870>
分類標目 機械工学．原子力工学 NDC8:530
分類標目 機械工学 NDC9:530
件名標目等 マイクロマシン||マイクロマシン
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