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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
小島啓安著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2015. <BB02246428>
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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
小島啓安著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2015. <BB02246428>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
資料ID
請求記号
状態
返却予定日
予約
WEB書棚
0001
日野館
日野:一般書架
20001862780
/549.8/Ko
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
日野館
配置場所
日野:一般書架
資料ID
20001862780
請求記号
/549.8/Ko
状態
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク Q&A : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
版事項
第2版
出版・頒布事項
東京 : 日刊工業新聞社 , 2015.2
形態事項
ix, 437p ; 21cm
巻号情報
ISBN
9784526073663
注記
参考文献: p425-434
学情ID
BB18417137
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
小島, 啓安
コジマ, ヒロヤス <>
分類標目
電子工学 NDC8:549.8
分類標目
電子工学 NDC9:549.8
件名標目等
薄膜||ハクマク
件名標目等
真空技術||シンクウギジュツ
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