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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

小島啓安著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2015. <BB02246428>
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小島啓安著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2015. <BB02246428>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架 20001862780 /549.8/Ko 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 20001862780
請求記号 /549.8/Ko
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク Q&A : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
版事項 第2版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2015.2
形態事項 ix, 437p ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784526073663
注記 参考文献: p425-434
学情ID BB18417137
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小島, 啓安
コジマ, ヒロヤス <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 真空技術||シンクウギジュツ
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