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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic ; : hardback. -- 2nd ed. -- CRC Press, 2015. <BB02233544>
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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 : hardback 日野館 日野：一般書架(洋書) 20001858598 /427.6/Ma 0件
No. 0001
巻号 : hardback
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架(洋書)
資料ID 20001858598
請求記号 /427.6/Ma
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic
版事項 2nd ed
出版・頒布事項 Boca Raton, FL : CRC Press , c2015
形態事項 xxxv, 376 p, : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : hardback
ISBN 9781482222050
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BB18074449
本文言語コード 英語
著者標目リンク 真壁, 利明||マカベ, トシアキ <AU00365038>
著者標目リンク Petrovic, Zoran Lj. <>
分類標目 LCC:TA2020
分類標目 DC23:621.044
件名標目等 Plasma engineering
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