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超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術

大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編. -- 大阪大学出版会, 2014. <BB02209880>
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超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術

大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編. -- 大阪大学出版会, 2014. <BB02209880>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：展示コーナー 20001838573 /428.4/O 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：展示コーナー
資料ID 20001838573
請求記号 /428.4/O
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術 / 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編
チョウセイミツ カコウ ト ヒョウメン カガク : ゲンシ レベル ノ セイサン ギジュツ
出版・頒布事項 吹田 : 大阪大学出版会 , 2014.3
形態事項 v, 379p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784872594652
注記 参考文献あり
学情ID BB15130805
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点 <>
著者標目リンク 精密工学会超精密加工専門委員会 <>
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