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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- シーエムシー出版, 2012. -- (新材料・新素材シリーズ). <BB02166052>
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- シーエムシー出版, 2012. -- (新材料・新素材シリーズ). <BB02166052>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架 20001788554 /549.7/Ma 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 20001788554
請求記号 /549.7/Ma
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2012.11
形態事項 ix, 279p ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784781305868
書誌構造リンク 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ <BB00579709>//a
その他の標題 標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
その他の標題 表紙タイトル:High technology information
その他の標題 異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : メムス ネムス センサ シーモス エルエスアイ ノ ユウゴウ
注記 参考文献あり
学情ID BB1082106X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 益, 一哉
マス, カズヤ <>
著者標目リンク 年吉, 洋||トシヨシ, ヒロシ <AU00696759>
著者標目リンク 町田, 克之
マチダ, カツユキ <>
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