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半導体・MEMSのための超臨界流体
近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012. <BB02161160>
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半導体・MEMSのための超臨界流体
近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012. <BB02161160>
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巻号
所蔵館
配置場所
資料ID
請求記号
状態
返却予定日
予約
WEB書棚
0001
日野館
日野:一般書架
20001775170
/549.8/Ko
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
日野館
配置場所
日野:一般書架
資料ID
20001775170
請求記号
/549.8/Ko
状態
返却予定日
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書誌詳細
標題および責任表示
半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著
ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
出版・頒布事項
東京 : コロナ社 , 2012.9
形態事項
vii, 227p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN
9784339008371
その他の標題
奥付タイトル:Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
その他の標題
異なりアクセスタイトル:半導体MEMSのための超臨海流体
ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
注記
引用・参考文献: p[212]-222
注記
その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
学情ID
BB10243699
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
近藤, 英一||コンドウ, エイイチ <AU00543549>
著者標目リンク
上野, 和良
ウエノ, カズヨシ <>
著者標目リンク
内田, 寛
ウチダ, ヒロシ <>
著者標目リンク
曽根, 正人
ソネ, マサト <>
著者標目リンク
生津, 英夫
ナマツ, ヒデオ <>
著者標目リンク
服部, 毅
ハットリ, タケシ <>
著者標目リンク
堀, 照夫
ホリ, テルオ <>
著者標目リンク
森口, 誠
モリグチ, マコト <>
分類標目
電子工学 NDC8:549.8
分類標目
電子工学 NDC9:549.8
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
件名標目等
マイクロマシン||マイクロマシン
件名標目等
超臨界流体||チョウリンカイリュウタイ
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