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半導体工場のすべて : 設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで

菊地正典著. -- ダイヤモンド社, 2012. <BB02161321>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野:一般書架 20001780619 /549.8/Ki 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野:一般書架
資料ID 20001780619
請求記号 /549.8/Ki
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 半導体工場のすべて : 設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで / 菊地正典著
ハンドウタイ コウジョウ ノ スベテ : セツビ ザイリョウ プロセス カラ フッカツ ノ ショホウセン マデ
出版・頒布事項 東京 : ダイヤモンド社 , 2012.8
形態事項 235p ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784478017289
その他の標題 標題紙タイトル:All about semiconductor plants materials, facilities, manufacturing processes and how to turn them around
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体工場のすべて : 設備材料プロセスから復活の処方箋まで
ハンドウタイ コウジョウ ノ スベテ : セツビ ザイリョウ プロセス カラ フッカツ ノ ショホウセン マデ
学情ID BB10120666
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 菊地, 正典(1944-)||キクチ, マサノリ <AU00402180>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ