東京都立大学図書館
図書館HP | ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス マイライブラリ ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • タグ履歴
    • 複写依頼
    • 貸借依頼
    • 新規購入依頼

東京都立大学図書館

検索結果一覧へ戻る

液浸リソグラフィのプロセスと材料

東木達彦監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2012. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 432 . エレクトロニクスシリーズ). <BB02167966>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

液浸リソグラフィのプロセスと材料

東木達彦監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2012. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 432 . エレクトロニクスシリーズ). <BB02167966>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：３Ｆ一般書架 10002736496 /549.7/E42s/2012 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ一般書架
資料ID 10002736496
請求記号 /549.7/E42s/2012
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 液浸リソグラフィのプロセスと材料 / 東木達彦監修
エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ
版事項 普及版
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2012.8
形態事項 v, 243p ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784781305509
書誌構造リンク CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB00773226> 432 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ//aa
その他の標題 標題紙タイトル:Process and Ingredient of Immersion Lithography
注記 「液浸リソグラフィのプロセスと材料」(2006年刊)の普及版
学情ID BB09913364
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 東木, 達彦
ヒガシキ,タツヒコ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    この書誌のQRコード