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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 技術評論社, 2012. -- (現場の即戦力). <BB02125851>
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 技術評論社, 2012. -- (現場の即戦力). <BB02125851>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 その他 理：物理 10004572758 /549.7/O48h 学部管理 0件
0002 日野館 日野：一般書架 20001741660 /549.7/O 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 その他
配置場所 理：物理
資料ID 10004572758
請求記号 /549.7/O48h
状態 学部管理
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 20001741660
請求記号 /549.7/O
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 技術評論社 , 2012.1
形態事項 x, 301p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784774149394
書誌構造リンク 現場の即戦力||ゲンバ ノ ソクセンリョク <BB00992559>//a
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体リソグラフィ技術 : はじめての
ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ : ハジメテ ノ
注記 工業調査会 2003年刊の改訂
注記 参考文献: 各章末
学情ID BB07670705
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00394840>
著者標目リンク 鈴木, 章義||スズキ, アキヨシ <AU00394841>
著者標目リンク 上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU00300033>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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