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From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications

Marc J. Madou ; : hardback. -- 3rd ed. -- CRC Press, 2012. -- (Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 3). <BB02144367>
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From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications

Marc J. Madou ; : hardback. -- 3rd ed. -- CRC Press, 2012. -- (Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 3). <BB02144367>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 : hardback 日野館 日野：大型本 20001748962 L/549.9/Ma/3 0件
No. 0001
巻号 : hardback
所蔵館 日野館
配置場所 日野：大型本
資料ID 20001748962
請求記号 L/549.9/Ma/3
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications / Marc J. Madou
版事項 3rd ed
出版・頒布事項 Boca Raton : CRC Press , c2012
形態事項 xiii, 636 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm
巻号情報
巻次等 : hardback
ISBN 9781420055160
書誌構造リンク Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou <BB02129020> v. 3//b
注記 Includes bibliographical references and index
注記 "This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v]
学情ID BB06583387
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Madou, Marc J. <AU00340220>
分類標目 LCC:TP248.25.B54
分類標目 DC22:621.381
件名標目等 BioMEMS
件名標目等 Nanoelectromechanical systems
件名標目等 Nanotechnology
件名標目等 Biotechnology
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