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Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology

Marc J. Madou ; : hardback. -- 3rd ed. -- CRC Press, 2012. -- (Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 2). <BB02144365>
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Marc J. Madou ; : hardback. -- 3rd ed. -- CRC Press, 2012. -- (Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 2). <BB02144365>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 : hardback 日野館 日野：大型本 20001748954 L/549.9/Ma/2 0件
No. 0001
巻号 : hardback
所蔵館 日野館
配置場所 日野：大型本
資料ID 20001748954
請求記号 L/549.9/Ma/2
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou
版事項 3rd ed
出版・頒布事項 Boca Raton : CRC Press , c2012
形態事項 xiii, 656 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm
巻号情報
巻次等 : hardback
ISBN 9781420055191
書誌構造リンク Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou <BB02129020> v. 2//b
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BB06582861
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Madou, Marc J. <AU00340220>
分類標目 LCC:TJ1191.5
分類標目 DC22:620.5
件名標目等 Microfabrication
件名標目等 Nanotechnology
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