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マイクロ・ナノ領域の超精密技術

日本学術振興会将来加工技術第136委員会編. -- オーム社, 2011. <BB02046402>
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マイクロ・ナノ領域の超精密技術

日本学術振興会将来加工技術第136委員会編. -- オーム社, 2011. <BB02046402>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架 20001685719 /532/N 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 20001685719
請求記号 /532/N
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ・ナノ領域の超精密技術 / 日本学術振興会将来加工技術第136委員会編
マイクロ ナノ リョウイキ ノ チョウセイミツ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 2011.3
形態事項 ix, 374p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 9784274210051
その他の標題 異なりアクセスタイトル:マイクロナノ領域の超精密技術
マイクロ ナノ リョウイキ ノ チョウセイミツ ギジュツ
注記 参考文献: 章末
学情ID BB05402454
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 日本学術振興会将来加工技術第136委員会||ニホン ガクジュツ シンコウカイ ショウライ カコウ ギジュツ ダイ136 イインカイ <AU00330320>
分類標目 機械工作．工作機械 NDC8:532
分類標目 機械工作．工作機械 NDC9:532
件名標目等 機械工作||キカイコウサク
件名標目等 ナノテクノロジー||ナノテクノロジー
件名標目等 精密機械||セイミツキカイ
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