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MEMSデバイス総論

植田敏嗣監修. -- サイエンス&テクノロジー, 2009. <BB02061197>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野:一般書架 20001689480 /530/U 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野:一般書架
資料ID 20001689480
請求記号 /530/U
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 MEMSデバイス総論 / 植田敏嗣監修
MEMS デバイス ソウロン
出版・頒布事項 東京 : サイエンス&テクノロジー , 2009.4
形態事項 301p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784903413655
注記 参考文献: 各章末
学情ID BB01488742
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 植田, 敏嗣
ウエダ, トシツグ <>
分類標目 機械工学 NDC9:530
分類標目 科学技術 NDLC:NB21
件名標目等 マイクロマシン||マイクロマシン