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フィールドガイドオプティカルリソグラフィー

Chris A. Mack著 ; 木下博雄訳. -- オプトロニクス社, 2008. -- (SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター). <BB00215091>
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フィールドガイドオプティカルリソグラフィー

Chris A. Mack著 ; 木下博雄訳. -- オプトロニクス社, 2008. -- (SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター). <BB00215091>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架 20001483305 /549.7/Ma 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 20001483305
請求記号 /549.7/Ma
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 フィールドガイドオプティカルリソグラフィー / Chris A. Mack著 ; 木下博雄訳
フィールド ガイド オプティカル リソグラフィー
出版・頒布事項 東京 : オプトロニクス社 , 2008.9
形態事項 xii, 133p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784902312331
書誌構造リンク SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター||SPIE フィールド ガイド <BB00212685>//a
その他の標題 原タイトル:Field guide to optical lithography
その他の標題 異なりアクセスタイトル:オプティカルリソグラフィー
オプティカル リソグラフィー
注記 原著 (Bellingham, Wash. : SPIE, c2006) の翻訳
学情ID BA87772822
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Mack, Chris A. <AU00609586>
著者標目リンク 木下, 博雄||キノシタ, ヒロオ <AU00609587>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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