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プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー

上條榮治監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2007. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 252). <BB00843555>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館:3F一般書架 10000860991 /549.1/P97s/2007 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館:3F一般書架
資料ID 10000860991
請求記号 /549.1/P97s/2007
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー / 上條榮治監修
プラズマ イオン ビーム ト ナノテクノロジー
版事項 普及版
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2007.3
形態事項 vi, 316p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784882319153
書誌構造リンク CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB00773226> 252//a
その他の標題 標題紙タイトル:Ion beam and plasma process for nanotechnology
その他の標題 原タイトル:プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
プラズマ イオン ビーム オウヨウ ト ナノテクノロジー
その他の標題 異なりアクセスタイトル:プラズマイオンビームとナノテクノロジー
プラズマ イオン ビーム ト ナノテクノロジー
注記 初版 (2002年刊) のタイトル: プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
注記 文献あり
学情ID BA81630064
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 上條, 榮治||カミジョウ, エイジ <AU00526474>
分類標目 電子工学 NDC8:549.1
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
件名標目等 イオンビーム||イオンビーム
件名標目等 プラズマ物理学||プラズマブツリガク
件名標目等 ナノテクノロジー||ナノテクノロジー