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超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

高原淳 [ほか] 著. -- サイエンス&テクノロジ-, 2006. <BB02425545>
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超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

高原淳 [ほか] 著. -- サイエンス&テクノロジ-, 2006. <BB02425545>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：大型本 20002068021 L/501.4/Ta 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：大型本
資料ID 20002068021
請求記号 L/501.4/Ta
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス / 高原淳 [ほか] 著
チョウビサイ パターニング ギジュツ : ジセダイ ノ ナノ・マイクロ パターニング プロセス
出版・頒布事項 東京 : サイエンス&テクノロジ- , 2006.2
形態事項 333p, 図版2枚 ; 31cm
巻号情報
ISBN 4903413012
注記 参考文献: 各章末
学情ID BA77546430
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 高原, 淳||タカハラ, アツシ <AU00363307>
分類標目 工業基礎学 NDC9:501.4
分類標目 科学技術 NDLC:M213
件名標目等 工業材料||コウギョウザイリョウ
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 ナノテクノロジー||ナノテクノロジー
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