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プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編. -- オーム社, 2005. <BB00294455>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館:3F一般書架 10000224784 /549.1/D58p/2005 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館:3F一般書架
資料ID 10000224784
請求記号 /549.1/D58p/2005
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 2005.10
形態事項 xi, 279p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4274201236
注記 文献:章末
学情ID BA73952112
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電気学会||デンキ ガッカイ <AU00350275>
著者標目リンク 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会||デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ <AU00543547>
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
分類標目 電子工学 NDC8:549.1
件名標目等 イオンビーム加工||イオンビームカコウ
件名標目等 プラズマ物理学||プラズマブツリガク