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プラズマイオンプロセスとその応用
電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編. -- オーム社, 2005. <BB00294455>
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プラズマイオンプロセスとその応用
電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編. -- オーム社, 2005. <BB00294455>
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巻号
所蔵館
配置場所
資料ID
請求記号
状態
返却予定日
予約
WEB書棚
0001
本館
本館:3F一般書架
10000224784
/549.1/D58p/2005
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
本館
配置場所
本館:3F一般書架
資料ID
10000224784
請求記号
/549.1/D58p/2005
状態
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
出版・頒布事項
東京 : オーム社 , 2005.10
形態事項
xi, 279p ; 22cm
巻号情報
ISBN
4274201236
注記
文献:章末
学情ID
BA73952112
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
電気学会||デンキ ガッカイ <AU00350275>
著者標目リンク
電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会||デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ <AU00543547>
分類標目
電子工学 NDC9:549.1
分類標目
電子工学 NDC8:549.1
件名標目等
イオンビーム加工||イオンビームカコウ
件名標目等
プラズマ物理学||プラズマブツリガク
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