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Silicide technology for integrated circuits

edited by Lih J. Chen. -- Institution of Electrical Engineers, 2004. -- (Processing series ; no. 5). <BB00056780>
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Silicide technology for integrated circuits

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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般図書 20001405901 /549.7/C 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般図書
資料ID 20001405901
請求記号 /549.7/C
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Silicide technology for integrated circuits / edited by Lih J. Chen
出版・頒布事項 London : Institution of Electrical Engineers , c2004
形態事項 xviii, 279 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
ISBN 0863413528
書誌構造リンク Processing series <BB00057254> no. 5//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA73380937
本文言語コード 英語
著者標目リンク Chen, L. J. <AU00559613>
分類標目 LCC:TK7871.15.S55
分類標目 DC22:621.3815
件名標目等 Silicides
件名標目等 Integrated circuits -- Materials
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