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プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

市村博司, 池永勝著. -- 日刊工業新聞社, 2005. <BB00964541>
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プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

市村博司, 池永勝著. -- 日刊工業新聞社, 2005. <BB00964541>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架 102031325 /549.8/I 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 102031325
請求記号 /549.8/I
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用 / 市村博司, 池永勝著
プラズマ プロセス ニヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2005.2
形態事項 ix, 276p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526054208
その他の標題 標題紙タイトル:Thin films
その他の標題 異なりアクセスタイトル:薄膜の基礎と応用 : プラズマプロセスによる
ウスマク ノ キソ ト オウヨウ : プラズマ プロセス ニヨル
注記 参考文献: 各章末
学情ID BA71274597
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 市村, 博司(1941-)||イチムラ, ヒロシ <AU00536179>
著者標目リンク 池永, 勝||イケナガ, マサル <AU00362882>
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