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レジスト材料

伊藤洋著 ; 高分子学会編集. -- 共立出版, 2005. -- (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10). <BB00973892>
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伊藤洋著 ; 高分子学会編集. -- 共立出版, 2005. -- (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10). <BB00973892>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 その他 理：物理 10004572774 /549.7/I89r 学部管理 0件
0002 本館 本館：３Ｆ一般書架 10000879646 /549.7/I89r/2006 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 その他
配置場所 理：物理
資料ID 10004572774
請求記号 /549.7/I89r
状態 学部管理
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ一般書架
資料ID 10000879646
請求記号 /549.7/I89r/2006
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
レジスト ザイリョウ
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 2005.2
形態事項 iv, 104p : 挿図 ; 19cm
巻号情報
ISBN 9784320043725
書誌構造リンク 高分子先端材料One Point / 高分子学会編集||コウブンシ センタン ザイリョウ One Point <BB00774361> 10//a
学情ID BA70954224
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 伊藤, 洋(1946-)
イトウ, ヒロシ <>
著者標目リンク 高分子学会||コウブンシ ガッカイ <AU00067374>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 感光性樹脂||カンコウセイジュシ
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