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Modelling of microfabrication systems

Raja Nassar, Weizhong Dai. -- Springer, 2003. -- (Microtechnology and MEMS). <BB02432961>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架(洋書) 20002076934 /549/N 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架(洋書)
資料ID 20002076934
請求記号 /549/N
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Modelling of microfabrication systems / Raja Nassar, Weizhong Dai
出版・頒布事項 Berlin ; New York : Springer , c2003
形態事項 x, 269 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 3540002529
書誌構造リンク Microtechnology and MEMS <BB00956311>//a
注記 Includes bibliographical references (p. [249]-261) and index
学情ID BA64230933
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Nassar, Raja <>
著者標目リンク Dai, Weizhong <>
分類標目 LCC:TK7836
分類標目 DC21:621.381
件名標目等 Microelectronics -- Mathematical models
件名標目等 Integrated circuits -- Mathematical models
件名標目等 Microelectromechanical systems -- Mathematical models
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