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The science and engineering of microelectronic fabrication

Stephen A. Campbell. -- 2nd ed. -- Oxford University Press, 2001. -- (The Oxford series in electrical and computer engineering). <BB00961249>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野:一般図書 201176740 /549.8/C 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野:一般図書
資料ID 201176740
請求記号 /549.8/C
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell
版事項 2nd ed
出版・頒布事項 New York : Oxford University Press , 2001
形態事項 xiv, 603 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0195136055
書誌構造リンク The Oxford series in electrical and computer engineering <BB00198198>//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA6355280X
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Campbell, Stephen A., 1954- <AU00736853>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC21:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction