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CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications

D. Lange, O. Brand, H. Baltes. -- Springer-Verlag, 2002. -- (Microtechnology and MEMS). <BB02432964>
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CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架(洋書) 20002076967 /549.97/L 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架(洋書)
資料ID 20002076967
請求記号 /549.97/L
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications / D. Lange, O. Brand, H. Baltes
出版・頒布事項 Berlin : Springer-Verlag , c2002
形態事項 viii, 142 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 3540431438
書誌構造リンク Microtechnology and MEMS <BB00956311>//a
注記 Includes bibliographical references (p. [131]-140) and index
学情ID BA60423276
本文言語コード 英語
著者標目リンク Lange, D. <>
著者標目リンク Brand, Oliver, 1964- <AU00353081>
著者標目リンク Baltes, H. (Henry) <AU00824858>
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