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MEMS and NEMS : systems, devices, and structures

Sergey Edward Lyshevski. -- CRC, 2002. -- (Nano- and microscience, engineering, technology and medicine series). <BB00957313>
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MEMS and NEMS : systems, devices, and structures

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架(洋書) 201183076 /549/L 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架(洋書)
資料ID 201183076
請求記号 /549/L
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 MEMS and NEMS : systems, devices, and structures / Sergey Edward Lyshevski
出版・頒布事項 Boca Raton : CRC , c2002
形態事項 461 p. : ill. ; 25 cm.
巻号情報
ISBN 0849312620
書誌構造リンク Nano- and microscience, engineering, technology and medicine series <BB00956425>//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA56739050
本文言語コード 英語
著者標目リンク Lyshevski, Sergey Edward <AU00386605>
分類標目 LCC:TK7875.L9597
分類標目 DC21:621.381
件名標目等 Microelectromechanical systems
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