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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

小林稔, 中島蕃著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2002. <BB00985506>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野:一般書架 20001466417 /549.7/Ko 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野:一般書架
資料ID 20001466417
請求記号 /549.7/Ko
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 小林稔, 中島蕃著
VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
版事項 第2版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2002.3
形態事項 xi, 169p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526049050
注記 監修: 垂井康夫
注記 文献: 章末
学情ID BA56507656
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 稔(1932-)||コバヤシ, ミノル <AU00600924>
著者標目リンク 中島, 蕃||ナカジマ, シゲル <AU00600925>
著者標目リンク 垂井, 康夫(1929-)||タルイ, ヤスオ <AU00071359>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ