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Scanning probe lithography

by Hyongsok T. Soh, Kathryn Wilder Guarini, Calvin F. Quate. -- Kluwer Academic Publishers, 2001. -- (Microsystems / series editor Stephen D. Senturia ; [7]). <BB00956815>
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Scanning probe lithography

by Hyongsok T. Soh, Kathryn Wilder Guarini, Calvin F. Quate. -- Kluwer Academic Publishers, 2001. -- (Microsystems / series editor Stephen D. Senturia ; [7]). <BB00956815>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般図書 201182458 /549.7/SO 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般図書
資料ID 201182458
請求記号 /549.7/SO
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Scanning probe lithography / by Hyongsok T. Soh, Kathryn Wilder Guarini, Calvin F. Quate
出版・頒布事項 Boston : Kluwer Academic Publishers , c2001
形態事項 xxiii, 195 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0792373618
書誌構造リンク Microsystems / series editor Stephen D. Senturia <BB00953694> [7]//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA53593640
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Soh, Hyongsok T. <>
著者標目リンク Guarini, Kathryn Wilder <>
著者標目リンク Quate, Calvin F. <>
件名標目等 Microlithography
件名標目等 Scanning probe microscopy
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