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Mechanical microsensors

M. Elwenspoek, R. Wiegerink ; : gw. -- Springer-Verlag, 2001. -- (Microtechnology and MEMS). <BB00956316>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 : gw 日野館 日野：一般書架(洋書) 201183068 /549.8/E 0件
No. 0001
巻号 : gw
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架(洋書)
資料ID 201183068
請求記号 /549.8/E
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Mechanical microsensors / M. Elwenspoek, R. Wiegerink
出版・頒布事項 Berlin : Springer-Verlag , c2001
形態事項 x, 295 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
巻次等 : gw
ISBN 3540675825
書誌構造リンク Microtechnology and MEMS <BB00956311>//a
注記 "Physics and Astronomy online library"--Half t.p
注記 Includes bibliographical references (p. [274]-290) and index
学情ID BA51428020
本文言語コード 英語
ISSN 16158326
著者標目リンク *Elwenspoek, M. <>
著者標目リンク Wiegerink, R. <>
分類標目 LCC:TK7875.E49
分類標目 DC21:681/.2
件名標目等 Detectors -- Design and construction
件名標目等 Microelectromechanical systems -- Design and construction
件名標目等 Transducers
件名標目等 Silicon
件名標目等 Micromachining
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