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An introduction to microelectromechanical systems engineering

Nadim Maluf. -- Artech House, 2000. -- (MEMS--Microelectromechanical systems series). <BB00955277>
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Nadim Maluf. -- Artech House, 2000. -- (MEMS--Microelectromechanical systems series). <BB00955277>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般図書 201171428 /549/MA 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般図書
資料ID 201171428
請求記号 /549/MA
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 An introduction to microelectromechanical systems engineering / Nadim Maluf
出版・頒布事項 Boston : Artech House , c2000
形態事項 xix, 265 p : ill ; 24cm
巻号情報
ISBN 0890065810
書誌構造リンク MEMS--Microelectromechanical systems series <BB00954219>//a
学情ID BA46828722
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Maluf, Nadim <AU00525312>
分類標目 DC21:621.381
件名標目等 Microelectromechanical systems
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