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Micro mechanical systems : principles and technology

edited by T. Fukuda and W. Menz. -- Elsevier, 1998. -- (Handbook of sensors and actuators ; v. 6). <BB00953950>
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Micro mechanical systems : principles and technology

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架(洋書) 201182367 /549.9/F 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架(洋書)
資料ID 201182367
請求記号 /549.9/F
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Micro mechanical systems : principles and technology / edited by T. Fukuda and W. Menz
出版・頒布事項 Amsterdam ; New York : Elsevier , 1998
形態事項 viii, 268 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0444823638
書誌構造リンク Handbook of sensors and actuators <BB00952707> v. 6//a
注記 Includes bibliographical references
学情ID BA41092080
本文言語コード 英語
著者標目リンク Fukuda, T. (Toshio), 1948- <AU00340217>
著者標目リンク Menz, W. (Wolfgang) <AU00340218>
分類標目 電子工学 NDC9:549.9
分類標目 LCC:TJ163
分類標目 DC21:621
件名標目等 Microelectromechanical systems -- Handbooks, manuals, etc
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