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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB00925434>
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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB00925434>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：３Ｆ一般書架 015580600 /420.8/O95k/8 0件
0002 日野館 日野：一般書架 101851996 /549.7/Y 0件
0003 日野館 日野：一般書架 101852002 /549.7/Y 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：３Ｆ一般書架
資料ID 015580600
請求記号 /420.8/O95k/8
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 101851996
請求記号 /549.7/Y
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0003
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 101852002
請求記号 /549.7/Y
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 裳華房 , 1998.3
形態事項 x, 234p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4785325089
書誌構造リンク 応用物理学選書||オウヨウ ブツリガク センショ <BB00833106> 8//a
その他の標題 その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
注記 欧文標題は標題紙裏による
注記 付: 参考文献, 参考書
学情ID BA35144601
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 吉田, 善一(1957-)||ヨシダ, ヨシカズ <AU00585283>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 機械工作||キカイコウサク
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