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Fundamentals of microfabrication
Marc Madou. -- CRC Press, 1997. <BB00953175>
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Fundamentals of microfabrication
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
資料ID
請求記号
状態
返却予定日
予約
WEB書棚
0001
日野館
日野:閉架書庫(大型)
201174380
L/549.9/MA
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
日野館
配置場所
日野:閉架書庫(大型)
資料ID
201174380
請求記号
L/549.9/MA
状態
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
Fundamentals of microfabrication / Marc Madou
出版・頒布事項
Boca Raton , Fla. : CRC Press , c1997
形態事項
589 p., [22] p. of plates : ill. (some col.) ; 29 cm
巻号情報
ISBN
0849394511
注記
Includes bibliographical references (p. 565-569) and index
学情ID
BA33862386
本文言語コード
英語
著者標目リンク
*Madou, Marc J. <AU00340220>
分類標目
電子工学 NDC9:549.9
分類標目
LCC:TK7836
分類標目
DC20:621.3815/2
件名標目等
Microelectronics -- Design and construction
件名標目等
Machining
件名標目等
Microelectronic packaging
件名標目等
Lasers -- Industrial applications
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電子工学 NDC9:549.9
LCC:TK7836
DC20:621.3815/2
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Machining
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