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Fundamentals of microfabrication

Marc Madou. -- CRC Press, 1997. <BB00953175>
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Fundamentals of microfabrication

Marc Madou. -- CRC Press, 1997. <BB00953175>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：閉架書庫（大型） 201174380 L/549.9/MA 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：閉架書庫（大型）
資料ID 201174380
請求記号 L/549.9/MA
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Fundamentals of microfabrication / Marc Madou
出版・頒布事項 Boca Raton , Fla. : CRC Press , c1997
形態事項 589 p., [22] p. of plates : ill. (some col.) ; 29 cm
巻号情報
ISBN 0849394511
注記 Includes bibliographical references (p. 565-569) and index
学情ID BA33862386
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Madou, Marc J. <AU00340220>
分類標目 電子工学 NDC9:549.9
分類標目 LCC:TK7836
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Microelectronics -- Design and construction
件名標目等 Machining
件名標目等 Microelectronic packaging
件名標目等 Lasers -- Industrial applications
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