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Micromachining and microfabrication

: us, : uk. -- SPIE Optical Engineering Press, 1997. -- (IEE materials & devices series ; 12B . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 2). <BB00673620>
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Micromachining and microfabrication

: us, : uk. -- SPIE Optical Engineering Press, 1997. -- (IEE materials & devices series ; 12B . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 2). <BB00673620>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 : uk 日野館 日野：一般図書 20002088780 /580/R 0件
No. 0001
巻号 : uk
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般図書
資料ID 20002088780
請求記号 /580/R
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Micromachining and microfabrication
出版・頒布事項 Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press
出版・頒布事項 London : Institution of Electrical Engineers , c1997
形態事項 vii, 692 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
巻次等 : us
ISBN 0819423793
巻号情報
巻次等 : uk
ISBN 0852969112
書誌構造リンク IEE materials & devices series <BB00952252> 12B . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 2//a
注記 "SPIE press monograph PM40"
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA32829782
本文言語コード 英語
著者標目リンク Rai-Choudhury, P. <AU00338077>
分類標目 LCC:TK7836
分類標目 DC21:670
件名標目等 Microlithography
件名標目等 Micromachining
件名標目等 Microfabrication
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