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Microlithography

: us, : uk. -- SPIE Optical Engineering Press, 1997. -- (IEE materials & devices series ; 12 . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 1). <BB00953026>
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Microlithography

: us, : uk. -- SPIE Optical Engineering Press, 1997. -- (IEE materials & devices series ; 12 . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 1). <BB00953026>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 : us 日野館 日野：参考図書 201182995 R/530.36/H/1 禁帯出 0件
No. 0001
巻号 : us
所蔵館 日野館
配置場所 日野：参考図書
資料ID 201182995
請求記号 R/530.36/H/1
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Microlithography
出版・頒布事項 Bellingham , Wash. : SPIE Optical Engineering Press , , c1997
出版・頒布事項 London : Institution of Electrical Engineers , c1997
形態事項 viii, 768 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
巻次等 : us
ISBN 0819423785
巻号情報
巻次等 : uk
ISBN 0852969066
書誌構造リンク IEE materials & devices series <BB00952252> 12 . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 1//a
注記 "SPIE press monograph PM39"
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA31844102
本文言語コード 英語
著者標目リンク Rai-Choudhury, P. <AU00338077>
分類標目 機械工学 NDC9:530.36
分類標目 LCC:TK7836
分類標目 DC21:670
件名標目等 Microlithography
件名標目等 Micromachining
件名標目等 Microfabrication
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