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Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990

edited by William S. Trimmer. -- IEEE Press, 1997. <BB00599678>
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Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：大型本 20002088898 L/549/Tr 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：大型本
資料ID 20002088898
請求記号 L/549/Tr
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990 / edited by William S. Trimmer
出版・頒布事項 New York : IEEE Press , c1997
形態事項 xv, 701 p. ; 29 cm
巻号情報
ISBN 0780310853
注記 "A selected reprint volume."
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA29757377
本文言語コード 英語
著者標目リンク Trimmer, William S. <AU00317313>
著者標目リンク Institute of Electrical and Electronics Engineers <AU00192180>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC20:621.381
件名標目等 Microelectronics
件名標目等 Electromechanical devices
件名標目等 Micromechanics
件名標目等 Actuators
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