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High density plasma sources : design, physics and performance

edited by Oleg A. Popov. -- Noyes Publications, 1995. -- (Materials science and process technology series). <BB02016888>
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High density plasma sources : design, physics and performance

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架(洋書) 20001591270 /427.6/P 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架(洋書)
資料ID 20001591270
請求記号 /427.6/P
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 High density plasma sources : design, physics and performance / edited by Oleg A. Popov
出版・頒布事項 Park Ridge, NJ : Noyes Publications , c1995
形態事項 xx, 445 p. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0815513771
書誌構造リンク Materials science and process technology series <BB02016889>//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA27808127
本文言語コード 英語
著者標目リンク Popov, Oleg A. <AU00657272>
分類標目 LCC:QC718.5.D4
分類標目 DC20:621.044
件名標目等 Plasma density
件名標目等 Plasma generators
件名標目等 High temperature plasmas
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